日立电子扫描电镜操作手册
资源描述
本资源文件为《日立电子扫描电镜操作手册》的操作部分（OPERATING SECTION），适用于CD测量和评估SEM系统。该操作手册共分为五个部分：系统部分（SYSTEM SECTION）、操作部分（OPERATING SECTION）、窗口部分（WINDOW SECTION）、错误信息部分（ERROR MESSAGE SECTION）和测量/图像文件配置部分（MEASUREMENT/IMAGE FILE CONFIGURATION）。
各部分内容概述：
- 系统部分（SYSTEM SECTION）：
- 涵盖了仪器的安装要求、组件部分的布置、功能特性、操作原理、文件组织、坐标方案、仪器启动/停止操作、故障排除、维护、安全预防措施等。
- 操作部分（OPERATING SECTION）：
- 介绍了仪器的操作程序、文件创建程序以及可选功能控制程序。
- 窗口部分（WINDOW SECTION）：
- 详细说明了显示在显示器上的窗口的操作功能和程序。
- 错误信息部分（ERROR MESSAGE SECTION）：
- 描述了在仪器操作过程中可能出现的错误信息及其原因，并提供了相应的补救措施。
- 测量/图像文件配置部分（MEASUREMENT/IMAGE FILE CONFIGURATION）：
- 解释了图像和测量文件的配置。
使用说明：
- 在尝试操作仪器之前，请先阅读系统部分（SYSTEM SECTION）。
- 在获得仪器的基本知识后，再阅读操作部分（OPERATING SECTION）和窗口部分（WINDOW SECTION）。
- 维护和检查程序确保仪器正常运行，这些程序在系统部分（SYSTEM SECTION）中有详细描述。请根据系统部分中的定期检查列表，定期进行维护和检查。
- 本操作手册包含了一些关于多种仪器型号、软件版本和可选功能的描述。请检查您的仪器型号、软件版本和可选功能，然后阅读手册中相关的描述。
- 本操作手册适用于S-9000系列CD SEMs的以下型号：S-9200、S-9220、S-9260、S-9260A、S-9300、S-9360和S-9380。
请仔细阅读并遵循操作手册中的指导，以确保仪器的正确使用和维护。